技術(shù)編號(hào)：11625485
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種硅晶切割廢液中回收聚乙二醇及碳化硅顆粒的方法，屬于廢液回收技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)在硅片多線切割過程中，切割液作用主要是分散、懸浮、潤(rùn)滑、冷卻、提高切割效率、降低切割消耗等?，F(xiàn)有的硅片切割液主要成分是聚乙二醇和碳化硅，因此在硅片切割產(chǎn)生的切割廢液中主要成分是聚乙二醇和碳化硅，同時(shí)還包括少量的硅屑或硅顆粒（一般為2%-5%）和微量的金屬鐵?，F(xiàn)有對(duì)硅晶切割液中聚乙二醇和碳化硅的回收往往存在回收率不高，回收的聚乙二醇、碳化硅純度不高等問題。如國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局2008年1月30日公開的“單晶硅切割...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。