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移動(dòng)體裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法和器件制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11619760

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移動(dòng)體裝置、曝光裝置、平板顯示器的制造方法和器件制造方法本申請(qǐng)是申請(qǐng)?zhí)枮?01380049848.7(PCT/JP2013/004728)、申請(qǐng)日為2013年8月5日、發(fā)明名稱(chēng)為“曝光方法、平板顯示器的制造方法和器件制造方法”的中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及曝光方法、平板顯示器的制造方法和器件制造方法,更具體而言,涉及使圖案保持體相對(duì)于能量束而在掃描方向上相對(duì)移動(dòng)的曝光方法、使用所述曝光方法的平板顯示器的制造方法和使用所述曝光方法的器件制造方法。背景技術(shù)以往,在制造液晶顯示元件、...
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