技術(shù)編號：11608488
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光學(xué)器械領(lǐng)域，特別涉及一種基于三維直寫的微透鏡陣列制造方法。背景技術(shù)微透鏡和微透鏡陣列是重要的微光學(xué)元器件，微透鏡陣列是由一系列直徑在微米至毫米的陣列元按照一定的規(guī)則排列而成的。微透鏡(陣列)具有尺寸小、重量輕、易集成等優(yōu)點(diǎn)，其在光路中可以發(fā)揮會聚、發(fā)散、準(zhǔn)直、成像和傳輸作用，已廣泛應(yīng)用在光纖耦合、光子器件和集成光學(xué)元件等方面。目前，用于制作微透鏡陣列的方法主要有離子交換法、光敏玻璃熱成形法、光刻膠熱熔法、光電反應(yīng)刻蝕法、聚焦離子束刻蝕與沉積法、化學(xué)氣相沉積法等方法。其中光敏玻璃熱成形...
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