技術(shù)編號(hào):11598084
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及機(jī)械設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,涉及一種靜壓導(dǎo)軌的供油裝置,還涉及一種包括上述供油裝置的靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng)。背景技術(shù)隨著超精密技術(shù)在民用、國防以及空間科學(xué)等領(lǐng)域的需求日益增大,對超精密機(jī)床的加工精度和工作性能的要求已越來越高,決定超精密機(jī)床性能的因素較多,其中主要取決于其關(guān)鍵部件的性能。導(dǎo)軌副是直接保證超精密機(jī)床各運(yùn)動(dòng)部件之間相對位置精度和相對運(yùn)動(dòng)精度的重要部件。液體靜壓導(dǎo)軌能夠很好的解決普通導(dǎo)軌常遇到的振動(dòng)與摩擦問題,因此液體靜壓導(dǎo)軌無疑是超精密機(jī)床導(dǎo)軌系統(tǒng)選擇的最佳方案之一。為保證液體...
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