技術(shù)編號：11593234
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及集成電路領(lǐng)域，具體涉及一種半導體器件。背景技術(shù)集成電路是當前發(fā)展計算機所必需的基礎(chǔ)電子器件。許多工業(yè)先進國家都十分重視集成電路工業(yè)的發(fā)展。集成電路的集成度以每年增加一倍的速度在增長。在此過程中，各種半導體器件的尺寸不斷縮小，半導體制造工業(yè)不斷提升，從而使半導體器件工作需要的電壓和電流不斷降低，開關(guān)的速度也隨之加快，這些又反過來促進了集成電路工藝的發(fā)展。在此過程中，半導體業(yè)界尋找各種方式提升半導體工藝。例如，采用二氧化硅(SiO2)作為柵極介質(zhì)，并在制作工藝中不斷縮小采用二氧化硅(S...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。