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多重反射型單元、分析裝置、排氣分析裝置和光的射入方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11588038

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本發(fā)明涉及多重反射型單元和使用該多重反射型單元的分析裝置,以及排氣分析裝置和光的射入方法,該多重反射型單元對射入的光進(jìn)行多重反射后將上述光向外部射出。背景技術(shù)在利用例如FTIR(傅立葉變換紅外光譜)法的氣體的吸光分析中,使用具有多重反射機(jī)構(gòu)的白光型(white)多重反射單元,該多重反射機(jī)構(gòu)由多個(gè)反射鏡構(gòu)成,以便使必要的測量對象氣體的容量變小,并且使通過測量對象氣體的光的光路長度變長(參照非專利文獻(xiàn)1)。圖9所示的多重反射機(jī)構(gòu)MR配置在單元主體(圖9中未圖示)的內(nèi)部,測量對象氣體被導(dǎo)入該單元主體內(nèi)...
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