技術(shù)編號：11587731
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光干涉計(jì)量測試領(lǐng)域，特別是一種使用棱鏡分光的共光路點(diǎn)衍射同步移相干涉測試裝置。背景技術(shù)點(diǎn)衍射干涉儀（PointDiffractionInterferometer，PDI）是Smartt在1972年提出的，其基本原理為帶有被測信息的會聚波通過一個(gè)直徑約為數(shù)個(gè)波長（小于艾里斑直徑）的小孔之后，會發(fā)生衍射，形成一個(gè)近似標(biāo)準(zhǔn)的球面波，可作為干涉測試中的參考光，用來代替?zhèn)鹘y(tǒng)干涉儀中由標(biāo)準(zhǔn)球面鏡產(chǎn)生的參考球面波。移相干涉測量技術(shù)是指通過對干涉場的調(diào)制產(chǎn)生移相，再由所采集到的若干幅移相干涉圖像利用一...
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