技術(shù)編號：11580314
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種厚度測量裝置及厚度測量方法，尤其涉及一種利用反射光來測量試樣厚度的厚度測量裝置及厚度測量方法。背景技術(shù)近年來，開發(fā)出利用光來測量距離的位移測量裝置。例如，日本特開2009-270939號公報(專利文獻(xiàn)1)中公開了如下結(jié)構(gòu)。即，光學(xué)式位移計包括：寬波段光源裝置，其用于生成作為測量用檢測光的寬波段光；聚光透鏡，其用于聚集上述檢測光，向測量對象物射出的射出側(cè)端面為平面；分光裝置，其對入射至上述聚光透鏡的被上述測量對象物反射的反射光和被上述射出側(cè)端面反射的反射光進(jìn)行分光，并求出波長分布特性...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。