技術(shù)編號：11579659
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開涉及加速度計。背景技術(shù)一些加速度計包括電容性拾取系統(tǒng)。例如，導(dǎo)電材料（例如，電容器板）可沉積在檢測質(zhì)量（proofmass）的上表面上，并且相似的導(dǎo)電材料可沉積在檢測質(zhì)量的下表面上。沿加速度計的靈敏軸線施加的加速度或力引起檢測質(zhì)量或者向上或者向下偏轉(zhuǎn)，從而引起拾?。╬ick-off）電容板與上部和下部非運動構(gòu)件之間的距離（例如，電容性間隙）變化。電容性間隙的這種變化引起電容性元件的電容的變化，其表示檢測質(zhì)量沿靈敏軸線的移位。電容的變化可用作移位信號，移位信號可被施加至包括一個或多個電磁體（...
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