技術(shù)編號(hào)：11577466
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于顯微鏡的干涉物鏡和基準(zhǔn)表面單元組，以及基于該顯微鏡的圖像測量裝置或精細(xì)形狀測量裝置。背景技術(shù)在測量要被加工的金屬表面的表面紋理以及半導(dǎo)體集成電路的電路圖案的形狀和階梯(step)以及測量透明薄膜的厚度的領(lǐng)域中，具有低放大率的光學(xué)宏觀放大觀測裝置或者具有比所述裝置更大放大率的光學(xué)顯微鏡設(shè)置有干涉功能，而且所觀察到的干涉條紋經(jīng)過圖像處理，從而高精度地測量精細(xì)表面形狀。在能夠執(zhí)行干涉測量的放大光學(xué)裝置中，構(gòu)成干涉系統(tǒng)的部件或結(jié)構(gòu)具有整體形成于其上的物鏡并作為單個(gè)構(gòu)件起干涉系統(tǒng)的作用。物鏡...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。