技術(shù)編號(hào)：11570986
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及一種利用準(zhǔn)分子激光將非晶硅薄膜結(jié)晶為多晶硅薄膜的激光結(jié)晶裝置。背景技術(shù)激光結(jié)晶裝置可包括：激光發(fā)生器，用于生成激光束；光學(xué)系統(tǒng)，包括用于使激光束均勻的多個(gè)透鏡和反射鏡；以及腔，該腔是在其中基板被均勻后的激光束結(jié)晶的空間。當(dāng)將待結(jié)晶的基板裝載到提供于腔內(nèi)的載物臺(tái)上時(shí)，空氣可能滯留在基板與載物臺(tái)之間，或者基板可能因載物臺(tái)的表面抗力而未被正確裝載。因此，當(dāng)基板被裝載到載物臺(tái)上時(shí)，可以提供真空孔，以使裝載穩(wěn)定并且去除滯留的空氣。此外，可以提供吹風(fēng)孔，以在基板被卸載時(shí)使基板與載物臺(tái)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。