技術(shù)編號：11568210
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及微機(jī)電(MEMS)傳感器裝置。更確切地說，本發(fā)明涉及具有集成多個刺激感測能力的MEMS傳感器裝置。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)裝置為具有嵌入式機(jī)械組件的半導(dǎo)體裝置。MEMS裝置包括(例如)壓力傳感器、加速度計、陀螺儀、麥克風(fēng)、數(shù)字鏡面顯示器、微射流裝置等。MEMS裝置用于多種產(chǎn)品中，例如汽車安全氣囊系統(tǒng)、汽車內(nèi)控制應(yīng)用程序、導(dǎo)航、顯示系統(tǒng)、噴墨盒等。隨著MEMS傳感器裝置的使用繼續(xù)增加且多樣化，越來越強(qiáng)調(diào)高級硅MEMS傳感器裝置發(fā)展成能夠以增強(qiáng)了的敏感度感測不同的物理刺激，并且...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。