技術(shù)編號:11541939
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及具有使用薄膜晶體管(以下稱作TFT)所形成的電路的半導(dǎo)體裝置及其制造方法。例如,本發(fā)明涉及一種電子設(shè)備,其中安裝了作為其組件的以液晶顯示面板或者包括有機(jī)發(fā)光元件的發(fā)光顯示裝置所代表的電光裝置(electro-opticaldevice)。注意,本說明書中的半導(dǎo)體裝置指的是可通過使用半導(dǎo)體特性進(jìn)行工作的所有裝置。電光裝置、半導(dǎo)體電路和電子設(shè)備全部是半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)各種金屬氧化物用于各種應(yīng)用。氧化銦是眾所周知的材料,并且用作液晶顯示器等所需的透明電極材料。一些金屬氧化物具有半導(dǎo)體特性。...
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