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基于高能離子輻照電離損傷的晶體材料超精密加工方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11537826

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本發(fā)明涉及一種采用高能離子輻照電離損傷的晶體材料超精密加工新方法。背景技術(shù)超精密機(jī)械加工是先進(jìn)制造的核心技術(shù)之一,對(duì)航空航天、國(guó)防建設(shè)以及國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有重要意義。超精密加工涉及的材料種類(lèi)繁多,包括金屬、半導(dǎo)體、陶瓷等,其中許多晶體材料由于獨(dú)特的物理或化學(xué)性質(zhì)而具有廣闊的應(yīng)用前景。然而絕大多數(shù)非金屬單晶屬于脆性材料,在加工過(guò)程中極易發(fā)生表面破碎從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此,提高表面質(zhì)量是晶體材料超精密加工的關(guān)鍵問(wèn)題。磨削是加工脆性材料的常用方法之一,但其產(chǎn)生的表面損傷仍需要通過(guò)拋光予以最終去除,增加了...
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