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測(cè)量目標(biāo)結(jié)構(gòu)的屬性的方法、檢查設(shè)備、光刻系統(tǒng)和器件制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11530345

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測(cè)量目標(biāo)結(jié)構(gòu)的屬性的方法、檢查設(shè)備、光刻系統(tǒng)和器件制造方法相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)要求2014年9月1日提交的歐洲申請(qǐng)14183095.0的優(yōu)先權(quán),該申請(qǐng)通過(guò)引用整體并入本文。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及可用于例如通過(guò)光刻技術(shù)執(zhí)行器件的制造時(shí)的量測(cè)的方法和檢查設(shè)備。本發(fā)明進(jìn)一步涉及用于在這樣的檢查設(shè)備中使用的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品和使用光刻技術(shù)制造器件的光刻系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)光刻設(shè)備是將期望的圖案施加到襯底上、通常到襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。光刻設(shè)備可以例如用在集成電路(IC)的制造中。在這種情形下,備選地稱(chēng)作掩...
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