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光調(diào)制器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11530282

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本發(fā)明涉及光調(diào)制器,尤其是涉及具有基板、光波導(dǎo)、控制電極的光調(diào)制器,該基板具有電光效應(yīng),該光波導(dǎo)形成于該基板且具備至少一個(gè)馬赫-曾德?tīng)?Mach-Zehnder)型光波導(dǎo),該控制電極用于控制在該光波導(dǎo)中傳播的光波。背景技術(shù)在光通信技術(shù)或光計(jì)測(cè)技術(shù)中,多使用向具有電光效應(yīng)的基板裝入了光波導(dǎo)和控制電極的光調(diào)制器。在這樣的光調(diào)制器中,在光波導(dǎo)上形成馬赫-曾德?tīng)栃凸獠▽?dǎo),關(guān)于對(duì)在光波導(dǎo)中傳播的光波進(jìn)行控制的控制電極,例如將LiNbO3使用于基板的情況下,以幾十μm的厚度形成信號(hào)電極、接地電極。在將LiN...
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