技術編號：11516122
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及感測技術，具體涉及一種氣敏感測設備、包括所述氣敏感測設備的氣敏感測系統(tǒng)以及檢測環(huán)境中的氧氣的方法。背景技術隨著科技的發(fā)展，TFT(薄膜晶體管，ThinFilmTransistor)的用途也越來越廣，但在氣敏方面的應用卻是很少。TFT氣敏傳感器與傳統(tǒng)的氣敏傳感器不同，它是一種多參數(shù)傳感器，包括電導率、遷移率、載流子濃度等，其精度較高，體積更小，可用于一些對體積要求較高的環(huán)境中?，F(xiàn)有的TFT氣敏傳感器都是通過氣體分子與有源層進行選擇性反應，來檢測某一個或某幾個參數(shù)的變化進而實現(xiàn)對氣體的檢測...
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