技術(shù)編號：11514836
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)中的微機(jī)電系統(tǒng)工藝制造領(lǐng)域，具體涉及一種曲面焦平面探測器及其制備方法。背景技術(shù)隨著人們對各個(gè)波段電磁波的研究，21世紀(jì)以來，太赫茲成像技術(shù)漸漸進(jìn)入了人們的視線。太赫茲的頻率很高、波長很短，具有很高的時(shí)域頻譜信噪比，且在濃煙、沙塵環(huán)境中傳輸損耗很少，可以穿透墻體對房屋內(nèi)部進(jìn)行掃描。與耗資較高、作用距離較短、無法識別具體爆炸物的X射線掃描儀相比，太赫茲成像具有獨(dú)特優(yōu)勢，目前已經(jīng)初步應(yīng)用于檢查郵件、識別炸藥及無損探傷等安全領(lǐng)域。高分辨率的圖像成為必然的需求，現(xiàn)有方案均是平面焦平面陣...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。