技術(shù)編號(hào)：11513967
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基板處理裝置及基板處理方法本發(fā)明申請是國際申請日為2013年10月2日、國際申請?zhí)枮镻CT/JP2013/076813、進(jìn)入中國國家階段的國家申請?zhí)枮?01380053966.5、發(fā)明名稱為“薄膜形成裝置及薄膜形成方法”的發(fā)明申請的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及薄膜形成裝置及薄膜形成方法。本申請基于2012年10月19日申請的日本國特愿2012-231876號(hào)及2012年10月19日申請的日本國特愿2012-231877號(hào)要求優(yōu)先權(quán)，并將其內(nèi)容援引于此。背景技術(shù)作為構(gòu)成顯示器裝置等顯示裝置的顯示元...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。