技術編號:11502859
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及超薄電子玻璃技術領域,特別是涉及一種超薄電子玻璃成型設備和成型方法。背景技術超薄電子玻璃是指厚度在0.1~1.1mm范圍內(nèi)的電子玻璃。電子玻璃系指可應用于電子、微電子、光電子領域的一類高技術產(chǎn)品,主要用于制作集成電路以及具有光電、熱電、聲光、磁光等功能元器件的玻璃材料?;宀Aё鳛槌‰娮硬AУ囊环N,是目前在微電子、光電子和新能源等高新技術中應用最廣、發(fā)展最快的特種超薄電子玻璃之一;主要包括液晶基板玻璃、太陽能電池用基板玻璃、存儲器用基板玻璃以及集成電路制作過程中制備光刻用的基板玻璃。...
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