技術(shù)編號：11473797
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于在帶電粒子束系統(tǒng)中觀察的樣品的制備。背景技術(shù)帶電粒子束顯微術(shù)（如掃描離子顯微術(shù)和電子顯微術(shù)）提供了比光學顯微術(shù)顯著更高的分辨率和更大的焦深。在掃描電子顯微鏡（SEM）中，初級電子束被聚焦到對有待觀察的表面進行掃描的細斑點。當表面被初級電子束沖擊時，從該表面發(fā)出次級電子。檢測次級電子并形成圖像，其中，該圖像上每個點處的亮度由束沖擊表面上的相應(yīng)斑點時檢測到的次級電子的數(shù)量來確定。掃描離子顯微術(shù)（SIM）與掃描電子顯微術(shù)類似，但是離子束用于掃描表面并發(fā)射次級電子。在透射電子顯微鏡（TEM...
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