技術(shù)編號：11473628
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本披露涉及封裝壓力傳感器，涉及包括封裝壓力傳感器的組件，涉及包括封裝壓力傳感器的系統(tǒng)并且涉及制造封裝壓力傳感器的方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體壓力傳感器通過檢測作用在懸置于半導(dǎo)體本體之上的硅樹脂的薄膜或隔膜上的壓力而工作。半導(dǎo)體本體和膜的組件限定了當(dāng)力作用在其上時針對膜的偏離的腔體。目前，傳感器已知能夠測量高壓力值并且配備有不銹鋼芯，固定在所述不銹鋼芯上的是應(yīng)變計元件。應(yīng)變計元件檢測通過電阻變化而與應(yīng)變計元件相關(guān)聯(lián)的芯的幾何變形。然而，出于可靠性、尺寸和成本的原因，這些傳感器對于在汽車應(yīng)用中使用而言不是非...
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