技術(shù)編號(hào)：11454526
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電(MEMS)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種微型加熱器和該微型加熱器的加工方法。背景技術(shù)相關(guān)技術(shù)中的微型加熱器在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中通常存在應(yīng)力集中問題，從而導(dǎo)致器件容易損壞，使用壽命短等問題。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本發(fā)明提出一種微型加熱器，所述微型加熱器通過使隔熱通孔的位于第一表面的端部形成為圓形，可以避免支撐膜的應(yīng)力集中問題，從而提高支撐膜的壽命及微型加熱器工作的可靠性。本發(fā)明還提出了一種微型加熱器的加工方法。根據(jù)本發(fā)明第一方面實(shí)施例的微型加熱器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。