技術(shù)編號(hào):11452646
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。工具自動(dòng)教導(dǎo)方法和設(shè)備相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用本申請(qǐng)是2015年10月28日提交的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)第62/247,647號(hào)、2015年7月13日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)第62/191,829號(hào)、2014年11月11日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)第62/078,345號(hào)以及2014年11月10日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)第62/077,775號(hào)的非臨時(shí)申請(qǐng)案并且要求上述臨時(shí)申請(qǐng)案的權(quán)益,上述申請(qǐng)案的全部公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用的方式并入本文。背景1.技術(shù)領(lǐng)域示例性實(shí)施例一般涉及基板處理系統(tǒng),并且更具體地涉及基板處理系統(tǒng)的部件的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。