技術(shù)編號(hào)：11451080
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。對計(jì)量目標(biāo)成像的質(zhì)量估計(jì)及改進(jìn)相關(guān)申請案的交叉參考本申請案主張2014年10月27日申請的第62/069,096號(hào)美國臨時(shí)專利申請案的權(quán)益，所述美國臨時(shí)專利申請案以全文引用的方式并入本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及計(jì)量領(lǐng)域，且更特定來說，涉及對疊加目標(biāo)成像的準(zhǔn)確性估計(jì)及改進(jìn)。背景技術(shù)圖1是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的疊加目標(biāo)90的示意性說明，疊加目標(biāo)90包括多個(gè)周期性結(jié)構(gòu)及其對稱中心的導(dǎo)出。所說明的目標(biāo)包括先前(下)層及當(dāng)前(上)層處的周期性結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鰧ΨQ中心通過界定周期性結(jié)構(gòu)的光學(xué)圖像中的相應(yīng)所關(guān)注區(qū)域(RO...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請注意，此類技術(shù)沒有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。