技術(shù)編號(hào)：11448851
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開內(nèi)容涉及用于檢查基板的設(shè)備和方法。在此所述的實(shí)施方式更具體地涉及用于檢查用于顯示器制造的基板、又更具體地是用于顯示器制造的大面積基板的設(shè)備和方法。背景技術(shù)在許多應(yīng)用中，檢查基板以監(jiān)控基板的品質(zhì)是必須的。舉例來說，其上沉積涂布材料的層的玻璃基板被制造而用于顯示器市場(chǎng)。由于缺陷可能例如發(fā)生在基板的處理過程中，例如發(fā)生在基板的涂布過程中，因此必須檢查基板以觀察缺陷和監(jiān)控顯示器的品質(zhì)。顯示器通常制造在大面積基板上，大面積基板具有持續(xù)增長的基板尺寸。另外，顯示器，例如TFT顯示器，經(jīng)歷持續(xù)的改善。舉...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。