技術(shù)編號：11443789
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種新型芯線支架，其用于采用西門子法的硅的制造裝置中。本發(fā)明還涉及一種利用芯線支架的硅的制造方法。背景技術(shù)目前，作為制造多晶硅的方法之一，提出了被稱為西門子法的多晶硅的制造方法，其中，該多晶硅被用作制造半導(dǎo)體或太陽能發(fā)電晶片的原料。該西門子法的特點在于能夠獲得高純度的多晶硅，將該西門子法作為在多晶硅的制造方法中最普遍的方法加以實施。將用于該西門子法的硅制造裝置的一個例子示于圖8中。該硅制造裝置50由底盤1以及容器6構(gòu)成，該底盤1布置有用來對硅芯線4通電的金屬制電極2，該容器6呈鐘罩形且...
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