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MEMS驅(qū)動(dòng)器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11443724

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本公開總體上涉及機(jī)電裝置和系統(tǒng),諸如,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。更具體地,本文中所公開的技術(shù)的各種實(shí)施方式針對(duì)經(jīng)由電荷控制的MEMS驅(qū)動(dòng)器的使用。背景技術(shù)MEMS靜電致動(dòng)器或者變換器具有大量應(yīng)用,從加速計(jì)至陀螺儀、至壓力傳感器、麥克風(fēng)等。MEMS通常包括可以小于1μm至幾毫米的部件或者元件,其中,至少一些元件具有某些機(jī)械功能或者關(guān)于它們的方面。例如,已經(jīng)開發(fā)了用于數(shù)字照相機(jī)的基于MEMS的運(yùn)動(dòng)傳感器以解決由于人手顫抖或者其他模糊誘導(dǎo)的動(dòng)作導(dǎo)致的圖像退化,例如,基于MEMS的陀螺儀可用于感測(cè)照相機(jī)運(yùn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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