技術(shù)編號(hào):11443724
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開總體上涉及機(jī)電裝置和系統(tǒng),諸如,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。更具體地,本文中所公開的技術(shù)的各種實(shí)施方式針對(duì)經(jīng)由電荷控制的MEMS驅(qū)動(dòng)器的使用。背景技術(shù)MEMS靜電致動(dòng)器或者變換器具有大量應(yīng)用,從加速計(jì)至陀螺儀、至壓力傳感器、麥克風(fēng)等。MEMS通常包括可以小于1μm至幾毫米的部件或者元件,其中,至少一些元件具有某些機(jī)械功能或者關(guān)于它們的方面。例如,已經(jīng)開發(fā)了用于數(shù)字照相機(jī)的基于MEMS的運(yùn)動(dòng)傳感器以解決由于人手顫抖或者其他模糊誘導(dǎo)的動(dòng)作導(dǎo)致的圖像退化,例如,基于MEMS的陀螺儀可用于感測(cè)照相機(jī)運(yùn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。