技術(shù)編號(hào)：11441960
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。示例性和非限制性實(shí)施例一般涉及機(jī)器人，更具體地涉及控制機(jī)器人的移動(dòng)。背景技術(shù)半導(dǎo)體處理系統(tǒng)利用一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人機(jī)械手來將稱為基板(substrate)的硅晶片準(zhǔn)確地遞送到處理模塊、計(jì)量站、裝載鎖(loadlock)以及其他合適位置。由于基板可能無法準(zhǔn)確地被定位在通過機(jī)器人拾取它們的位置中(初始未對(duì)準(zhǔn))，并且因?yàn)闄C(jī)器人末端執(zhí)行器通常不提供將在機(jī)器人末端執(zhí)行器上機(jī)械地將基板置于中心的器件，所以外部傳感器通常被用于在機(jī)器人運(yùn)動(dòng)期間檢測(cè)基板的邊緣。這可以由控制系統(tǒng)用于調(diào)整機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)，并且隨后準(zhǔn)確地遞送...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。