技術(shù)編號(hào)：11437684
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及聲學(xué)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種MEMS麥克風(fēng)。背景技術(shù)MEMS感測(cè)組件現(xiàn)已應(yīng)用普及在消費(fèi)性電子產(chǎn)品中，如何加快產(chǎn)品生產(chǎn)工藝是目前零組件供貨商關(guān)注的焦點(diǎn)，例如手機(jī)生產(chǎn)組裝過程中所產(chǎn)生的灰塵碎削通過氣槍直接清理，是目前成本最低的方案。因此對(duì)MEMS傳感器必須提出大聲壓或大氣壓的抗吹氣改善方案，避免在組裝過程，因氣槍清理導(dǎo)致麥克風(fēng)發(fā)生破裂失效。目前的改善方案為在MEMS麥克風(fēng)的振膜上設(shè)置泄壓孔或者泄壓閥結(jié)構(gòu)。但是泄壓孔的結(jié)構(gòu)會(huì)減少振膜的有效面積。在振膜中部區(qū)域設(shè)置的泄壓閥結(jié)構(gòu)會(huì)受到尺寸的限制，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。