技術(shù)編號：11436545
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及金屬微結(jié)構(gòu)制造技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種在金屬基底上制備微同軸金屬結(jié)構(gòu)的方法。背景技術(shù)在微結(jié)構(gòu)中，通常稱在基體材料上進(jìn)行非常薄的微加工得到的微結(jié)構(gòu)為二維微結(jié)構(gòu)。對于那些結(jié)構(gòu)簡單、不含曲面或斜面的微結(jié)構(gòu)，稱之為準(zhǔn)三維微結(jié)構(gòu)，如側(cè)壁垂直于表面的深溝槽、臺階等。只有含有曲面或任意復(fù)雜形狀的微結(jié)構(gòu)，我們才稱之為三維微結(jié)構(gòu)。在MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))中，為了滿足功能和裝配等方面要求，很多元器件都需要具有斜面、自由曲面等三維微結(jié)構(gòu)，特別是微同軸結(jié)構(gòu)，目前已引起了大多數(shù)研究學(xué)者的關(guān)注。微機(jī)械加工技術(shù)主要...
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