技術(shù)編號(hào):11434490
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光電技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種陣列基板及其制作方法、平板探測(cè)器及影像設(shè)備。背景技術(shù)X射線檢測(cè)廣泛應(yīng)用于醫(yī)療領(lǐng)域,通常采用平板技術(shù)對(duì)透過(guò)待測(cè)目標(biāo)的X射線進(jìn)行檢測(cè)。該平板探測(cè)技術(shù)包括直接型探測(cè)和間接型探測(cè)兩種。其中,用于實(shí)現(xiàn)間接型探測(cè)的平板探測(cè)器(FlatPanelDetector,F(xiàn)PD),如圖1所示,包括陣列基板10以及覆蓋該陣列基板的X射線轉(zhuǎn)換層11。該陣列基板上設(shè)置有陣列排布的薄膜晶體管(ThinFilmTransistor,TFT)和光電轉(zhuǎn)換器101。X射線轉(zhuǎn)換層11將X射線轉(zhuǎn)換為可...
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