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一種應用于60GHz ROF系統(tǒng)的集成光子晶體MZI調(diào)制器的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11432650

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一種應用于60GHzROF系統(tǒng)的集成光子晶體MZI調(diào)制器本發(fā)明涉及一種基于二維光子晶體分束器、合波器、慢光波導和耦合波導集成應用于60GHzROF系統(tǒng)的MZI電光調(diào)制器的實現(xiàn)方法,屬調(diào)制器領域。背景技術MZI電光調(diào)制器是光通信系統(tǒng)如ROF(Radio-over-Fiber)系統(tǒng)、基于芯片的光互連系統(tǒng)等中的基礎器件,較小電壓和超密集尺寸的MZI電光調(diào)制器一直以來都是研究的熱點。在最近幾年里,各種研究機構提出了各種各樣的結構,例如利用基于自由載離子色散效應的pn或者pin結構的硅光調(diào)制器[文獻1.A...
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