技術(shù)編號：11426393
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種簡易拋光液流量控制供給裝置及其控制方法，屬于材料機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)隨著綠色能源、集成電路等技術(shù)的不斷提高，對襯底材的表面平整度的要求愈發(fā)嚴(yán)格，同時，拋光行為中對材料去除率等要求也在增加，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的廣泛應(yīng)用。在化學(xué)機(jī)械拋光過程中，拋光液對表面質(zhì)量及材料去除率等要求有很大的影響。為得到效果較好的拋光液需要進(jìn)行大量的實驗，在大量的實驗過程中，對拋光液流量，添加時間等因素有著嚴(yán)格的要求，同時，一種配比實驗結(jié)束后裝置清洗困難。市場上相關(guān)的裝置只能實現(xiàn)對拋光液影響實驗因素的部分...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。