技術(shù)編號：11415349
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及化工設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種變壓回收氫氣吸附塔。背景技術(shù)在現(xiàn)今社會大力發(fā)展新能源取代傳統(tǒng)能源的背景下，多晶硅、三氯氫硅行業(yè)逐漸被大眾和社會認(rèn)識，并迅速成為關(guān)注熱點(diǎn)。但在其生產(chǎn)過程中將產(chǎn)生主要含氫氣、氯化氫、三氯氫硅等組分的過程尾氣。由于其中含有氯硅烷成分，屬于重污染物，不經(jīng)過處理不能直接排放或氫氣回用。要除去尾氣中的氯化氫、氯硅烷成分，過去通常采用水吸收的方法，但此方法帶來大量的污水且無法處理?，F(xiàn)在多采用變壓吸附法分離多晶硅或三氯氫硅中的氫氣與氯化氫、氯硅烷成分。變壓吸附(Press...
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