技術(shù)編號(hào):11409844
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種圖像傳感器的制備方法。背景技術(shù)CIS(CMOSImageSensor,CMOS圖像傳感器)屬于光電元器件,CIS由于其制造工藝和現(xiàn)有集成電路制造工藝兼容,同時(shí)其性能比原有的電荷耦合器件(CCD)圖像傳感器有很多優(yōu)點(diǎn),而逐漸成為圖像傳感器的主流。CMOS圖像傳感器的白像素(WhitePixel)是制約其性能、質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵因素之一,降低白像素一直是CIS產(chǎn)品性能提升的一個(gè)重要方向。由于位于CIS產(chǎn)品像素區(qū)的SAB(salicideblockla...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。