技術編號：11404607
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于精密測量領域，具體涉及一種基于激光干涉儀的高精度三自由度實時測量的方法及裝置。背景技術測量是一切科學研究和工業(yè)生產的基礎，在測量領域中，距離、位移、角度和角位移是基本測量物理量。隨著技術的發(fā)展，出現(xiàn)了各種各樣的測量方法，在高精度測量方面，光學方法具有可溯源和非接觸的優(yōu)勢，飛行時間法和激光干涉測距是常用的長度測量手段，自準直法、激光干涉法、環(huán)形激光法和內反射法是常用的測角方法，這些方法一般使用在單一物理量的測量。隨著技術的發(fā)展，單一物理量測量已經不能滿足科學研究和工業(yè)生產的需求，這就要求...
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該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。