技術(shù)編號：11388130
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及半導(dǎo)體器件，并且更具體地涉及半導(dǎo)體器件和在半導(dǎo)體管芯周圍形成絕緣層的方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件通常存在于現(xiàn)代電子產(chǎn)品中。半導(dǎo)體器件在電氣部件的數(shù)目和密度方面變化。分立的半導(dǎo)體器件通常含有一種類型的電氣部件，例如發(fā)光二極管（LED)、小信號晶體管、電阻器、電容器、電感器和功率金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管（MOSFET)。集成的半導(dǎo)體器件典型地含有數(shù)百到數(shù)百萬個電氣部件。集成的半導(dǎo)體器件的示例包括微控制器、微處理器、電荷耦合器件（CCD)、太陽能電池和數(shù)字微鏡器件（DMD)。半導(dǎo)體器件...
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