技術(shù)編號：11383895
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是一種判別并記錄硅片位置的檢測裝置及方法，具體涉及半導(dǎo)體搬運設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)硅片被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體元器件中，其精細程度代表了半導(dǎo)體的制造工藝水平，硅片在生產(chǎn)制造過程中對環(huán)境、加工及承載裝置有嚴格的要求，硅片一般都是存放在硅片盒中，機械手會從硅片盒中抓取和搬運硅片進行工藝處理。硅片盒一般是立式放置，前面開口用于機械手抓取和存放硅片，硅片盒中分布有一層層的插槽，每個插槽放置一張硅片，盒中通常有25個插槽用來存放硅片。硅片在硅片盒中的分布是隨機的，通常不是按照盒中小槽的順序來依次放置硅片，...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。