技術(shù)編號：11371653
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及薄膜缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種薄膜缺陷檢測用照明裝置。背景技術(shù)薄膜缺陷是指在薄膜生長和形成過程中，各種缺陷都會進入到薄膜中，這些缺陷對薄膜性能有重要影響，這些缺陷的出現(xiàn)與薄膜制造工藝密切相關(guān)。在對薄膜缺陷檢測過程中，需要用到照明裝置對薄膜進行進行檢測，然而現(xiàn)有的照明裝置性能較差，檢測過程中不能很好的控制照明裝置的開啟與關(guān)閉，從而影響對薄膜缺陷檢測的效果。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種薄膜缺陷檢測用照明裝置，具備便于控制照明裝置的開啟與關(guān)閉的優(yōu)點，解決了現(xiàn)有照明裝置性能較...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。