技術(shù)編號(hào)：11366464
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種PECVD與PVD混合連續(xù)式柔性薄膜鍍膜裝置，特別是一種PECVD與PVD整合在一條生產(chǎn)線的鍍膜裝置。背景技術(shù)現(xiàn)今卷對(duì)卷連續(xù)真空連續(xù)鍍膜設(shè)備都只針對(duì)一種沉積模式運(yùn)作，PECVD模式或PVD模式。受限于不同的制程氣體如何有效地進(jìn)行隔絕，通常的做法是將PECVD及PVD分別作為兩套獨(dú)立運(yùn)作的系統(tǒng)，以避免制程氣體相互影響，設(shè)備建制成本提高，同時(shí)增加使用空間。或著設(shè)置多個(gè)空腔室作為氣體隔離作用，且分別需要配置門閥加強(qiáng)氣體隔離效果；此舉雖然整合PECVD及PVD于一條生產(chǎn)線上，但是設(shè)置多...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。