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一種高純度多晶硅鑄錠坩堝的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11329896

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本實用新型涉及坩堝領域,更具體的是涉及一種高純度多晶硅鑄錠坩堝。背景技術目前晶體硅太陽能電池占據(jù)著光伏產(chǎn)業(yè)的主導地位。而硅片的成本占到了單/多晶體硅成本的一半以上,因此降低硅片的成本,提高硅片的質量,對于光伏行業(yè)的發(fā)展有著極其重要的意義。近年來,由于鑄造多晶硅較直拉單晶硅具有低成本、低能耗等優(yōu)勢,逐漸成為主要的光伏材料,其市場份額也日益增大。但由于鑄錠過程中加熱器、隔熱籠以及石墨護板等大量碳材料的使用,引入大量碳雜質,高溫下,石墨部件與氧、石英坩堝等發(fā)生熱化學反應,產(chǎn)生的CO和SiO等氣體通過內(nèi)...
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