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一種新型的離子源引出?加速結(jié)構(gòu)的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11325427

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一種新型的離子源引出-加速結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明為解決長條形工件金屬離子處理時離子束均勻性的問題而提出的新型的離子源引出-加速結(jié)構(gòu)。技術(shù)背景金屬蒸汽真空弧離子源(MetalVaporVacuumArc),簡稱MEVVA源。這項技術(shù)是在上世紀(jì)80年代中期由美國加州大學(xué)伯克利分校的Brown、Adler和Burkhart等人因核物理研究需要研制而成。由于MEVVA源可以產(chǎn)生各種強(qiáng)流金屬和導(dǎo)電化合物的離子束,具有束流強(qiáng)、離子種類多、純度高、電荷態(tài)高、引出電壓高以及多孔大面積引出的特點(diǎn),利用這些離子束可以改...
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