技術(shù)編號：11312420
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型主要涉及一種真空腔體的零組件，尤其是一種不需天車吊掛上蓋的真空腔體上蓋的上掀裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有的真空設(shè)備一般是用于鍍膜、蝕刻與表面處理等加工，請參閱圖6所示，欲加工的工件是設(shè)置于該真空設(shè)備的一真空腔體60中，真空腔體60中的零組件若需要維修保養(yǎng)則需打開真空腔體60的上蓋62，而現(xiàn)有的真空腔體60的上蓋62大多設(shè)有如加熱模塊或抽氣模塊等附加功能的其他模塊，使得現(xiàn)有的真空腔體60上蓋62具有一定的重量與體積，因此，以人力或壓缸打開上蓋具有一定的難度。故現(xiàn)有的真空腔體60的上蓋62的四個角落...
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