技術(shù)編號：11297237
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于激光干涉微納加工領(lǐng)域，具體涉及一種基于達(dá)曼光柵和反射鏡的多光束激光干涉微納加工裝置。背景技術(shù)激光干涉光刻是一種在材料表面大面積加工亞微米尺度周期性結(jié)構(gòu)的方法，通過兩束或者多束相干光形成周期性或者準(zhǔn)周期性光場，可以直接在材料表面或者內(nèi)部刻蝕二維和三維周期性結(jié)構(gòu)。激光干涉光刻工藝具有加工面積大，加工尺度靈活多變，成本低廉等優(yōu)勢，已受到研究者們的高度重視，利用激光干涉光刻加工出的納米結(jié)構(gòu)也在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，但其在質(zhì)量穩(wěn)定性以及實用性應(yīng)用方面仍有很多缺陷。傳統(tǒng)的Mach-Zehnde...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。