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電磁波檢測(cè)器以及電磁波檢測(cè)器陣列的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11289711

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本發(fā)明涉及將石墨烯用于檢測(cè)層的電磁波檢測(cè)器以及電磁波檢測(cè)器陣列,特別涉及在檢測(cè)層與電極之間設(shè)置有緩沖層的高靈敏度的電磁波檢測(cè)器以及電磁波檢測(cè)器陣列。背景技術(shù)在以往的電磁波檢測(cè)器中,一般使用半導(dǎo)體材料作為電磁波檢測(cè)層,但半導(dǎo)體材料由于具有規(guī)定的帶隙,所以存在只能檢測(cè)到具有比帶隙大的能量的電磁波這樣的問(wèn)題。因此,作為下一代的檢測(cè)層的材料,帶隙為零或者極小的石墨烯受到關(guān)注,例如在引用文獻(xiàn)1中提出了如下電磁波檢測(cè)器,在該電磁波檢測(cè)器中,在基板上設(shè)置柵極氧化膜,在其上堆積石墨烯的溝道層,在溝道層的兩端形成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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