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一種高能帶電粒子束從真空到大氣的引出窗口的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11289523

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本發(fā)明涉及高能帶電粒子束加工制造裝備技術領域,具體涉及一種高能帶電粒子束從真空到大氣的引出窗口。背景技術高能帶電粒子束加工技術以其優(yōu)越的加工性能在工業(yè)領域中得到廣泛應用,但是由于高能帶電粒子束粒子質量極小,從粒子束產(chǎn)生到發(fā)射到大氣的過程中,會受到大氣分子的撞擊,導致粒子束能量與密度的降低,使加工效果變差,因此目前傳統(tǒng)的高能帶電粒子束加工技術被限制在真空環(huán)境中進行,但真空環(huán)境的維系需要耗費巨大的加工成本,同時降低加工效率,更是制約高能帶電粒子束加工技術應用于大型工件的加工制造。為了破除真空機制的制...
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