亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

用于尤其在光學(xué)系統(tǒng)中操縱元件位置的裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11288020

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。

用于尤其在光學(xué)系統(tǒng)中操縱元件位置的裝置本申請(qǐng)要求申請(qǐng)日為2015年2月3日的德國(guó)專利申請(qǐng)DE102015201870.9的優(yōu)先權(quán)。該德國(guó)專利申請(qǐng)的內(nèi)容通過引用(“援引并入”)包含在本申請(qǐng)文件中。本發(fā)明的背景技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種用于尤其在光學(xué)系統(tǒng)中操縱元件位置的裝置。所述光學(xué)系統(tǒng)在此尤其可以是投影曝光設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)。背景技術(shù)微光刻用于制造微型結(jié)構(gòu)化的構(gòu)件,例如集成電路或者LCD。微光刻工藝在所謂的投影曝光設(shè)備中進(jìn)行,所述投影曝光設(shè)備具有照明設(shè)備和投影鏡頭。借助照明設(shè)備來照明的罩(即掩膜)的圖像在...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)