技術(shù)編號：11284612
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及使用霍爾元件的磁傳感器及其制造方法，特別涉及具備磁會聚板、探測垂直及水平方向的磁場的磁傳感器及其制造方法。背景技術(shù)霍爾元件作為磁傳感器能夠以非接觸方式進行位置探測或角度探測，因此用于各種用途。首先，對霍爾元件的磁檢測原理進行說明。若對物質(zhì)中流過的電流施加垂直的磁場則在與該電流和磁場兩者垂直的方向產(chǎn)生電場（霍爾電壓）。因此，一般的霍爾元件中，使電流流過硅等的半導(dǎo)體襯底（晶圓）表面而檢測垂直的磁場分量。進而，已知與利用具有高導(dǎo)磁率的材料制作的磁性體薄膜組合、并將磁性體薄膜用作為改變磁通的朝...
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