技術(shù)編號(hào)：11282494
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于機(jī)械手的偏移自動(dòng)調(diào)整裝置及機(jī)械手的偏移自動(dòng)調(diào)整方法。背景技術(shù)一般而言，在半導(dǎo)體處理設(shè)備中搬送半導(dǎo)體晶圓、顯示面板用的玻璃基板等時(shí)，使用連桿（link）系的水平多關(guān)節(jié)型搬送機(jī)械手。連桿系的搬送機(jī)械手在直線動(dòng)作時(shí)，會(huì)發(fā)生相對(duì)于機(jī)械手的動(dòng)作軌跡的橫方向偏移（以下也稱(chēng)為橫偏移）。對(duì)于連桿系的搬送機(jī)械手而言，手部的動(dòng)作是由用以對(duì)各關(guān)節(jié)軸的動(dòng)作進(jìn)行控制的多種參數(shù)決定。因此，以往使用測(cè)量器，借由人手而手動(dòng)地對(duì)直線動(dòng)作模式全部的參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，從而調(diào)整機(jī)械手的橫偏移。發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問(wèn)題：然而，以...
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